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中图SJ6000激光干涉仪

中图SJ6000激光干涉仪

激光干涉仪以光波为载体,其光波波长可以直接对米进行定义,且可以溯源至国家标准,是迄今公认的高精度、高灵敏度的测量仪器,在高端制造领域应用广泛。

SJ6000激光干涉仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、最高测速下分辨率高等优点,结合不同的光学镜组,可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下,可实现线性、角度和直线度的动态测量与性能检测,以及进行位移分析、速度分析、加速度分析、FFT分析,如丝杆导轨的动态特性分析、振动分析、驱动系统的响应特性分析等。

产品特点

1)精度高

SJ6000激光干涉仪以干涉技术为核心,其光波可直接对米进行定义。采用激光双纵模热稳频技术,可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出;采用高精度环境补偿模块,可实现激光波长和材料的自动补偿;干涉镜与主机分离设计,避免干涉镜受热影响,保证干涉光路稳定可靠。

2)功能广

可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量:

可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等,以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等;

可实现对机床回转轴的测量与校准;

可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表,为设备误差修正提供依据;

支持手动或自动进行环境补偿。

3)软件强

友好的人机界面;

丰富的应用功能模块:(3)向导式的操作流程;(4)简洁化的记录管理;

支持中文简体、中文繁体、英文和俄文界面:(6)支持企业专属模板定制。

4)标准多

内置13份标准,包含GB、ISO、英标、美标、德标、日标等国内外通用标准;可依据各种不同的机床标准分析处理数据,并可打印相应的曲线图和数据报告。


技术参数

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西安广旭图机电设备有限公司

西安广旭图测量技术有限公司

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